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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試橢偏拉曼AFM反射譜成像技術(shù)

反射譜成像技術(shù)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

iSR是一種微光斑測(cè)試技術(shù),用于實(shí)時(shí)刻蝕和Halftone工藝中的厚度測(cè)試

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-06-24
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:601
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Capability:

  • 最小0.1μm光斑尺寸進(jìn)行監(jiān)控

  • 波數(shù)測(cè)試范圍從20到100cm-1

  • 橢偏和iSR同步測(cè)試,可以獲得二維高分辨厚度圖譜

反射譜成像技術(shù) 反射譜成像技術(shù)






上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶(hù)遍布全國(guó)。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。



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