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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚液晶層間隙量測(cè)設(shè)備 RETS series
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
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● 安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
● 封入cell gap
● twist角 *
● rubbing角 *
● pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］ *
● 空cell gap *
● 相位差（復(fù)折射相位差）的波長(zhǎng)分散 *
● 光學(xué)軸 *
● 橢圓率/方位角 *
● 三次元折射率/Rth/β *
● 分光光譜/色度*
● 液晶cell
- 透過、半透過型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強(qiáng)感應(yīng)電）
- 反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
● 光學(xué)材料
- 其他（相位差?橢圓?偏光膜、液晶材料）
| 型號(hào) | RETS series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20mm×20mm ～* |
| cell gap測(cè)量范圍 | 0.1μm ～數(shù)10μm |
| cell gap重復(fù)性 | ±0.005μm |
| 檢出器 | 多通道分光光度計(jì) |
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 400nm ～ 800nm |
| 光學(xué)系 透過用偏光子unit | 偏光光學(xué)系 消光比 10-5內(nèi)置Gran-tomson prism（方解石） 自動(dòng)旋轉(zhuǎn)（角度精度0.1°）、自動(dòng)裝卸機(jī)構(gòu) |
| 測(cè)量口徑 | φ2, φ5, φ10 (mm) |
| 光軸傾斜機(jī)構(gòu) | -20 ～ 45°、-45 ～ 45°等 |
相位差與液晶層間隙值
液晶面內(nèi)分布圖
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